二次电子
- 在入射电子作用下，使样品原子的外层价电子或自由电子被击出样品表面，称为二次电子
- 用于断口分析，显微组织分析，和原始表面形貌观察
- 二次电子的能量较低(通常低于
，且大部分低于 ) - 二次电子易于采集，数量大，成像分辨率高
- 如果激发过程在样品深处，激发的电子会被吸收，无法产生信号
- 过程在表面附近数纳米范围时，激发的二次电子可能会溢出样品
SE分类：
- SE1：入射电子激发样品表面产生的SE
- SE2：背散射电子与样品表面产生的SE
- SE3：背散射电子溢出，与仪器器件产生的SE
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